電子槍鍍膜設備配置有扇形多片夾具或拱形單工件盤,可鍍制層數較多的短波通、長波通、減反射膜、濾光片等應用于光學鏡頭或光學儀器上的視窗玻璃或分光元件,利用人機界面觸摸屏 PLC與全自動晶振膜厚儀構成全自動控制系統,可以實現參數錄入、過程監控及數據存儲等功能,可設定工藝流程并自動執行,使鍍膜膜層重復性、光學性能穩定性有質的提高,解決了人工手動操作復雜性、膜層顏色、光學性能不一致等問題。
應用:特別適用于光學鏡頭、電子產品、亞克力、玻璃、燈具、手機視窗、眼鏡、舞臺燈光等,可鍍制增透膜、濾光片、幻彩、紅五彩、紅、黃、綠、藍等七彩顏色。全自動光學電子槍鍍膜設備參數說明
設備型號
GXW-1600A
GX-900A
GX-1100A
GX-1200A
GX-13500A
真空室尺寸
800×900
1050×1200
1100×1200
1200×1450
1350×1500
制膜種類
光學增透膜、減反射膜(AR)、寬帶增透、單點增透、截止濾光片、七彩裝飾功能膜等。
工件夾具
拱型四片裝夾、拱型單工件盤公轉、三工件盤行星公自轉、12軸公自轉(臥式)
真空室結構
立式前開門、臥式前開門(304不繡鋼)、后置真空系統
真空系統
滑閥泵(旋片泵)+羅茨泵+擴散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷泵、深冷系統)
加熱系統
發熱管上加熱方式,PID控制,溫度350度
工作氣體系統
質量流量控制儀+電磁閥
電子槍
電子槍四圓形坩堝加一個U形坩堝,高壓4KV-8KV可調,可自由選擇三角波、正弦波、方波掃描電動定位。
電阻蒸發源
2組電阻蒸發源
離子源
功率2KW,陽極電流6A。雙燈絲(自動切換)提高附著力、膜層密度、穩定折射率。(霍爾源)
晶振膜厚儀
由美國產晶振膜厚儀SQC-310與PLC構成全自動控制抽真空及電子束自動蒸發系統,實現設備的全自動控制
極限真空
8×10-4pa(空載、凈室)
抽氣時間
空載大氣抽至5×10-3pa小于15分鐘
控制方式
手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC
備注
真空室尺寸可按客戶產品及特殊工藝要求訂做
振華真空擁有一支完善、精干的售后服務隊伍,可在機械出現故障的時間電話溝通教客戶怎樣排除故障;廣東省內可在24小時內到達客戶工廠進行檢修工作,省外可在48小時內到達。
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