美國ALICAT 21S系列抗腐蝕型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差專利技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21S系列數字式質量流量控制器可用于快速jing確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。

產品特點 ：

● 數字化產品

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數控制:體積流量、質量流量和壓力

● 可選高精度：優于0.5%

● 高量程比 100:1

● 響應時間快 僅需100ms(可調)

● 內置130種常規以及腐蝕性氣體（如介質是lv氣CL2 或 二氧化硫SO2，訂貨時，需特殊說明）

● 可現場標定混合氣體，并存儲20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術參數 ：

介質要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質種類：內置了130種氣體，請咨詢

一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（詳情請咨詢）

量程比：100:1

zui大顯示流量：102.4%FS

顯示屏：同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-滿量程

高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備

重復性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% F.S / oC / Atm

預熱時間：