1.技術指標

進口：ISO250F

排氣：KF40

抽速：2,650 l / s（N2）

壓縮比：> 10 ^ 8（N2）

極限壓力：1 x 10-9托

重量：176磅

2.特點與優勢

?緊湊的設計，包括完全集成的控制器

?創新的自感應磁性軸承系統

?5軸數字控制

?與其他渦輪相比，振動水平降低了50％

?可以配置為運行腐蝕性工藝

應用領域

等離子蝕刻?ECR蝕刻?薄膜沉積?濺射?離子注入

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