一、簡介：

聲學(xué)掃描顯微鏡是一種非破壞性的檢測組件的完整

性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)和材料的內(nèi)部情況的儀器，作為無損檢

測分析中的一種，它可以實(shí)現(xiàn)在不破壞物料電氣能和

保持結(jié)構(gòu)完整性的前提下對物料進(jìn)行檢測。被廣泛的

應(yīng)用在物料檢測（IQC）、失效分析（FA）、質(zhì)量控

制(QC)、質(zhì)量保證及可靠性(QA/REL)、研發(fā)（R&D）

等領(lǐng)域。

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二、超聲掃描成像顯微成像技術(shù)應(yīng)用：

1.微電子:塑封IC,陶瓷電容,模片固定,芯片級封裝,倒裝,

? 印刷電路板（PCB）等

2.微機(jī)械系統(tǒng):粘結(jié)芯片,制造工藝評估,包裝

3.軍事/航天/汽車電子:高可靠性資格篩選,產(chǎn)品升級篩選

4.材料:陶瓷,剝離,金屬,塑料,化合物

5.其他:微陣列芯片,生物芯片,微射流技術(shù),傳感器等

?

三、詳細(xì)參數(shù):

超聲波探頭頻率：5M到450M

超聲波掃描模式：A-Scan(某點(diǎn)掃描)、

??????????????? B-Scan(塊掃描)、

??????????????? C-Scan(層掃描)、

??????????????? Multi-Scan(多層掃描)、

??????????????? Q-BAM(虛擬橫截面)、

??????????????? T-Scan (穿透式掃描)、

??????????????? 3-V(3維圖像)、

??????????????? Tray-Scan(盤掃描)

掃描范圍：12.9*12.4英寸

分辨率：8192*8192

選擇的聲波寬度：0.25納秒到1微秒

Z軸分辨率：9納米